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海德漢 – 專注於精密定位任務的量測與控制技術

摘要"

海德漢股份有限公司專注於研發高精度,高品質光學尺、角度與旋轉編碼器、數值顯示裝置以及控制器。海德漢的產品特別適用於高精度需求的工具機、電子元件與電子加工設備。 憑藉著在研發生產量測設備與控制器應用所累積的豐富經驗與專業知識,我們能夠為未來的自動化設備與生產機台建立穩定和重要的基礎。
海德漢在今年3月的台北國際工具機展覽會上展出幫助機械製造商實現極致的智慧機台及提供控制器使用者許多增加生產效益的解決方案,現場搭配五軸加工中心機台展示海德漢高速高精的全系列解決方案:

關鍵詞:海德漢、光學尺、角度與旋轉編碼器、數值顯示裝置、控制器

I. 海德漢智慧製造解決方案:
A. PC生產監控軟體工具State Monitor
B. 遠端桌面管理員 Remote Desktop Manager
II. 海德漢智慧量測解決方案:
智慧機台的必要條件就是要在單機上整合加工與量測製程。海德漢將在搭配TNC 640及ETEL TMK高轉數高扭力直驅馬達的銑車複合加工中心機上進行實際3D曲面量測功能展示。
III. 海德漢新世代觸控面板控制器:
承襲海德漢親近使用者的風格及優異的性能,首度推出TNC 620及TNC 640觸控面板控制器。使用者可以使用熟悉便捷的方式進行多點式觸控式面板操作。
海德漢也將於今年9月13-15日在南港展覽館登場的年度台灣半導體展SEMICON Taiwan展會上展出海德漢集團一系列的高精度產品—海德漢開放式光學尺與模組式角度編碼器、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺。訪客也能現場感受ETEL高精密運動平台Vulcano的高速運動控制與極佳制振功能。
海德漢新的LIP 6000開放式光學尺:承襲LIP系列的極高安裝尺寸、非常小的安裝誤差以及較低干擾準位等等特色,非常適用於半導體製造、量測與高精度極微小型的生產加工。在必須高速控制同時又具備準確位置穩定性條件的機台設備中,海德漢的光學尺LIP系列即為機台中不可或缺的一部分!
模組式角度編碼器MRP 8000系列:為角度編碼器與高精度軸承的最佳化整合方案。海德漢完成必要的組裝與精度調整,這不僅簡化了安裝的過程,同時還拉高了模組的精度,可確保MRP系列在應用中達到機台指定的位置要求。其高解析度與高重複定位精度的特色特別適合應於高度精密電子量測儀器。
RSF的增量式光學尺MS15:獨特光學設計與安裝容許誤差較大的特色,降低了對污染的敏感度。此一系列採用獨特的掃描原理,允許高速度達10m/s。同時內建左右極限及原點訊號輸出,讓使用者能感受到機台運動狀態的穩定性。
ETEL推出的Vulcano XY精密運動平台:適合用於晶圓的前製程段,例如:微影堆疊量測技術,關鍵尺寸以及薄膜量測等等。機械軸承的設計在XY平面與垂直方向提供極高剛性,允許高加減速度(可達2.5g),最高速度(可達2 m/s),優異的雙向重複精度(X軸與Y軸: ±250nm) 以及奈米等級的定位穩定性。Vulcano內建高速高精度控制器AccurET與主動式制振平台QuiET,能大幅增強精密運動性能。

海德漢新的LIP 6000開放式光學尺

RSF的增量式光學尺MS15

ETEL推出的Vulcano XY精密運動平台

模組式角度編碼器MRP 8000系列

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